视觉测量：3D光谱共聚焦

光谱共焦技术是一种基于轴向色差和色彩编码技术的光学检测方法，将传感器发射端发出的复色光色散为波长连续的光谱，通过色彩编码，将波长准确映射到被测物，通过测量反射光的波长，建立传感器距离与波长间的对应关系，获取被测物的位置信息。

3D光谱共焦技术应用于3C/半导体领域三维形貌、平整度、粗糙度的测量及检测，如手机面板玻璃轮廓度及边缘检测，电路缺陷检测，精密结构件尺寸检测，芯片封装外观检测，芯片焊珠共面性检测，晶圆检测等。

适用高反光，镜面，透明，弯曲，倾斜，漫反射，彩色，粗糙，高对比度等高精度测量场景，还可测量透明涂层的厚度和空隙。用于测量物体的厚度、平面度、微观形貌、微小瑕疵、翘曲度等，解决3D轮廓精密测量问题，满足半导体、3D玻璃、精密点胶、精密零部件等测量和检测需求。

技术优势

• 几乎可测量任意材料的物体

• 透明或者不透明的

• 吸光或彩色物体

• 扩散或反射表面

• 粗糙或光滑表面

• 同轴测量可避免遮蔽影响

• 极端斜坡测量以及高数值孔径

• 发射表面测量角度高达45°

• 扩散表面测量角度高达80°

• Z轴极高的测量分辨率以及精度 Z（可达纳米级别）

• 微小恒定测量光斑尺寸（几微米）-极高横向分辨率

• 无源光学探头，无需任何移动，无任何嵌入式电子元件

• 极高热稳定性

• 无错位

• 长时期运行可靠性以及高再现性

• 多点平行测量

应用场景：

• 消费电子

  智能手机，平板，以及其他消费电子产品上的金属和玻璃的结合方式日渐精益，利用我们的光学非接触式传感器检查这些膜层以保证他们无缝结合。在智能手机和平板极硬的屏幕玻璃上镀膜，对工艺要求极高，尤其切割边需要检测，以保证能符合极严格的标准。在单通在线模式中，基于光谱共焦技术的光学传感器可以测量屏幕玻璃的尺寸，厚度和翘曲---甚至由研磨裂纹和激光烧蚀产生的缺陷的形状和深度都可以测量。

• 半导体—晶圆形貌

  半导体芯片（晶圆）表面需要测量和分析，采集的3D数据需要有足够高的分辨率来保证电路形貌可被检查。如今，应用于半导体行业的基于光谱共焦技术的线阵传感器是最先进的。线阵传感器可同时测量近距离的若干个点，相较于单点传感器，在给定的时间内光学探头可以覆盖相当大的测量区域。最新的线阵传感器每条线拥有192个测量点，线长从1mm到5mm（基于不同探头），可提供极高的分辨率和重复性测试。

• 玻璃

  对于任何颜色或者表面的玻璃的厚度和表面形貌的测试，先进的光谱共焦传感器都可胜任。在检测设备中，我们的传感器是玻璃容器侧壁厚度测试的行业标准。甚至玻璃瓶的圆偏差，热石英管的侧壁厚度，预制多层膜中的功能性箔，我们的传感器都能很容易检测。玻璃温度高达1,700°C时，传感器的温度也不会上升。对于玻璃容器的生产，侧壁强度和圆度的非接触式高速检测尤为重要。作为玻璃检测行业的标准，通过其内部集成的光学探头，可在不同位置提供高达4,000/s的测试速度。得益于它极佳的性能表现和无损光学探头，非圆形容器也可以精确的测试。光斑直径只有十几微米，即使是玻璃中最微小的缺陷也可以检测到。

• 汽车

  我们的光谱点和线阵传感器可以胜任汽车生产过程中质量监控的各种测试任务。得益于其极高的测试速度，这些传感器可以直接集成到生产线，可在最短周期实现100%的在线测试，从而提升终端产品的质量。典型的应用包括复杂组装中的3D形状检测，例如发动机缸体结构表面或者齿轮的几何结构和粗糙度的检测。此外，我们的传感器可用于汽车大灯外壳内的反射性保护涂层和仪表板安全气囊额定断点的检测。通过测量曲面玻璃的厚度和几何结构，可以得到挡风玻璃和全景式玻璃车顶的尺寸。玻璃面板和金属底盘的间隙可实现纳米级别的高精度在线检测。像金属，玻璃和塑料这种拥有不同表面特性的混合材料的测试，对于我们的传感器来说都是极易实现的。

应用案例

光谱共焦测距离、厚度：

测量说明：

扫描频率2000Hz，LED光强30% ，x轴扫描间距5um，y轴扫描间距17.43um

2D效果：

3D效果：

局部检测结果：