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AOI微观瑕疵检测设备:产品概要

微观瑕疵检测系统

——取代显微镜人工目检



DerSIEG 半导体微观瑕疵检测系统


微观瑕疵检测系统配置了高清高速显微成像系统,具备多组光源,适应多种产品外观缺陷检测;

使用了动态聚焦与飞拍技术,能以极高速度进行采样与分析,从而实现对大多数半导体、电子制造、精密制造产品的外观瑕疵检测;

结合深度学习的检测算法,能适应各种复杂缺陷检测;

配合后台的数据统计系统,能对检测产品的不良信息进行存档和统计分析,为制程优化提供依据;

本设备占用空间小,可直接摆放到桌面上,极为节省空间,提高洁净车间的利用率。


提高效率、节省人工、品质追溯、降低成本


提高效率 :检测效率为显微镜目检的5-50倍

节省人工 :每套系统可节省5-10名质检员

品质追溯 :存档不良图,为品质追溯、改善工艺提供保障

降低成本 :产能饱和,1年左右收回投资



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应用案例:

晶圆级芯片封装外观缺陷检测


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医疗传感器芯片外观瑕疵检测


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汽车刹车应变传感器芯片外观瑕疵检


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汽车传感器芯片位置度测量


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芯片切割后的视觉定位及视觉测量


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Wafer ID 晶圆编码识别


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电子烟芯片模组的外观检测


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LTCC元件印刷工艺的外观瑕疵检测


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LED芯片封装外观瑕疵检测


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